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搭載采用了冷卻檢測方式的流量傳感器
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可以進行低沸點液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。
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名稱
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質量流量計
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型號
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LF-F20M-A
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LF-F30M-A
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LF-F40M-A
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LF-F50M-A
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LF-F60M-A
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全標度流量(g/min)
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0.02/0.05/0.1
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0.2/0.5
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1/2/5
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10/20
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50/100
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檢測控制范圍
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5?100% F.S.
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對象液體種類 *1
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可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
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液體粘度 *2
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最大值. 0.1 Pa·s (100cp)
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精度 *3
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±1% F.S.
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直線性 *3
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±0.5% F.S.
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重復性 *3
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±0.5% F.S.
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響應精度
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3秒以內 (T98)
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2秒以內 (T98)
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使用環境溫度 *4
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5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)
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溫度影響 Span
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±0.1%F.S./℃ 最大值±1%
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工作差壓值值 *5
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最大值. 5MPa (視為流量計) / 50?300kPa (with piezo 控制閥)
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耐壓
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10MPa (視為流量計)
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壓力損失
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最大值. 500Pa
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流量設定信號
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模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數字式：RS485(F-Net通信協議)
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流量輸出信號
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模擬：0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ) 數字式：RS485(F-Net通信協議)
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驅動電源
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+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA
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外部泄漏規格
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5×10-12Pa·m3/s (He)
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接液部材質
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SUS316L, Ni
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標準接頭
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1/16” ， 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型
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1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型
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1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型
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名稱
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質量流量控制器
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型號
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LV-F20 (PO/MO)
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LV-F30 (PO/MO)
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LV-F40 (PO/MO)
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LV-F50 (PO/MO)
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LV-F60 (PO/MO)
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全標度流量(g/min)
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0.02/0.05/0.1
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0.2/0.5
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1/2/5
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10/20
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50/100
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檢測控制范圍
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5?100% F.S.
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對象液體種類 *1
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可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
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液體粘度 *2
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最大值. 0.01 Pa·s (10cp)
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精度 *3
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±1% F.S.
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直線性 *3
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±0.5% F.S.
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重復性 *3
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±0.5% F.S.
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響應精度
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3秒以內 (T98)
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2秒以內 (T98)
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使用環境溫度 *4
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5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)
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溫度影響Span
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±0.1%F.S./℃ 最大值±1%
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工作差壓值 *5
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0.05?0.3MPa
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耐壓
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1MPa
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壓力損失
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ー
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流量設定信號
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模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數字式：RS485(F-Net通信協議)
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流量輸出信號
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模擬：0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ) 數字式：RS485(F-Net通信協議)
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驅動電源
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+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA
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外部泄漏規格
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PO 類型：1×10-8Pa•m3/s (He) MO 類型： 5×10-12Pa•m3/s (He)
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接液部材質
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PO 類型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA MO 類型： SUS316L，Ni
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標準接頭
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1/16” ， 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型
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1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型
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1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型
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*1： LF-F/LV-F系列質量流量控制器利用1種液體進行了流量校正 (請預先指定所使用 的液體。)
?不能檢測含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會發生變化時，請預先進行咨詢協商。
?LV-F系列質量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時，請在一次端(入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2： LF-F類型質量流量控制器根據流量量程，可以適用到 最大值， 0.1Pa•s。有關高粘度的液體請預先進行咨詢協商。
*3： 以SEMI E56-1296 為準。
*4： 進行測量?控制的液體溫度如果低于環境溫度時，使用時請把溫差控制在10℃以 內；如果高于液體溫度時，使用時請把溫差控制在3℃以內。
*5：這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。
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